Web半導体材料や製品の製造において、オクタフルオロシクロブタンは、ガスデポジション及びウェットエッチングに用いられる 。 また、オゾン層破壊物質である フロン類 の代替として、冷媒としての利用も考えられている。

冷媒R 23 HFC-23 CHF3超低温冷凍サプライヤーで使用されるフロンガス - 見積りと …

Web冷媒R 23 HFC-23 CHF3超低温冷凍に使用されるフロンガス 製品名：冷媒ガスR23、HFC23（R23）、CHF3ケース番号：75-46-7分子式：CHF3適用：R23は非常に低温の冷凍でR13とR503の代わりに使用されるHFCです。 それはまた、ハロン1301の代替としてクリーンな消火剤として使用されています。 R23は最も... お問い合わせを送る パラメー … Webドライエッチング剤HFC-23(CHF3)は、半導体製造用の高純度エッチングガスです。 概要 - 半導体製造用のため純度は99.999vol%(5N)以上です。 - 主にSiO2, Low-k膜のエッチン … psm medical gmbh

オクタフルオロシクロブタン - Wikipedia

Webフルオロホルム ( 英: Fluoroform) は、 化学式 CHF3 で表される 有機化合物 である。 IUPAC名 は トリフルオロメタン （ 英: Trifluoromethane ）であり、 トリハロメタン … Webシリコン深掘りエッチングはSPP テクノロジーズ社 ASE®-S.Pegasus を用いて行った。SF 6/c-C 4F 8 を用い る従来プロセスと，SF 6/新規ガス(c-C 4F 8 代替ガス)を用 いる新規ガスプロセスのそれぞれにおいて，条件を最 適化し，最適条件同士のプロセス特性を比較 … WebJEITA 電子情報技術産業協会 psm mbbs full form